东谈主民网北京9月15日电 （方经纶）据工业和信息化部官网音书，为促进首台（套）首要技艺装备立异发展和现实垄断，加强产业、财政、金融、科技等国度撑合手战略的协同，工业和信息化部近日印发《首台（套）首要技艺装备现实垄断指导目次（2024年版）》（以下简称《指导目次》），其中在电子专用装备目次下，“集成电路坐蓐装备”包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分歧率≤65nm，套刻≤8nm。

按照市集监管总局等5部门于本年4月纠合印发的《中国首台（套）首要技艺装备检测评定惩处目标（试行）》，首要技艺装备是国之重器，事关轮廓国力和国度安全。中国首台（套）首要技艺装备，是指国内杀青首要技艺冲突、领有学问产权、尚未赢得显然市集功绩的装备居品，包括整机建树、中枢系统和要道零部件等。

《首台（套）首要技艺装备现实垄断指导目次（2024年版）》截图。